Вакуумный пост ВН-3000

Описание

Цена:

По запросу

Производитель:

Оплата

Безналичный расчет
Предоплата на банковкую карту
Оплата с отсрочкой платежа

Доставка

Деловые Линии;
ПЭК;
ЖелДорЭкспедиция;
КИТ;
Энергия;

Вакуумный пост ВН-3000 предназначен для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью магнетрона RF и DC, электронно-лучевого испарителя, термического испарения и ионного травления.

Область применения

Приборы электронной техники, материаловедения, микроэлектроника, физика и другие отрасли, а также отработка отдельных технологических операций по напылению.

Конструктивные особенности

Установка выполнена в виде двух стоек – электрической и аналитической. Стойки располагаются рядом и соединяются между собой питающими, силовыми и сигнальными жгутами.

В электрической стойке расположены: - блок распределительный;

блок питания высоковольтный;
блок питания магнетрона RF;
блок питания магнетрона DC;
блок управления;
блок питания турбомолекулярного насоса; - ноутбук.

В аналитической стойке расположены:

вакуумная система;
рабочий объем;
внутри камерная оснастка;
турбомолекулярный насос;
система напуска газа в рабочий объем;
система водяного охлаждения насоса, магнетрона, ЭЛИ.

Вакуумная система работает в автоматическом режиме и позволяет получить вакуум в закрытом рабочем объеме без вмешательства оператора.

В рабочий объем устанавливаются следующие устройства:

механизм поворота;
осветитель;
устройство ионного травления/очистки (анод);
устройство осаждения и нагрева;
электронно-лучевой испаритель;
магнетрон RF (максимальное количество магнетронов – до 6 шт).

Возможно доукомплектование установки кварцевым измерителем толщины КИТ.

Технические характеристики
Установка обеспечивает предельное остаточное давление в рабочем объеме, не более, Па	2х10^-3
Нагреватель в устройстве осаждения и нагрева обеспечивает температуру в районе подложки, не менее, °C	300
Время нагрева до температуры 300 °С, не более, мин	30
Устройство осаждения и нагрева обеспечивает частоту вращения подложки, об/мин	5-15
Напряжение на выходе блока питания высоковольтного (без нагрузки), кВ	0-4
Максимальный ток пучка, мА	200
Максимальный ток блока питания накала катода, А	20
Мощность блока питания магнетрона RF, Вт	0-500
Максимальное напряжение блока питания магнетрона DC (без нагрузки), кВ	1,2
Ток блока питания магнетрона DC, мА	0-1000
Максимальный ток устройства ионного травления/очистки, мА	100
Установка обеспечивает откачку рабочего объема от атмосферного давления, Па	6х10-3
Время откачки рабочего давления, мин	45
Индикация давления в рабочем объеме, Па	от 1,0х10^5 до 1,0х10^-4
Диаметр мишени, мм	42-104
Габариты стойки аналитической, мм	900х610х1620
Габариты стойки электрической, мм	600х600х2160
Масса, кг	420